型號： microvision 2 品牌： mks 工作原理：該系統(tǒng)由殘余氣體分析單元和真空單元組成。真空單元將待測的真空腔體抽真空，在真空環(huán)境下，殘余氣體分析單元的采集端收集腔室內的殘余氣體，殘余氣體各組分在離子源中發(fā)生電離，氣體的各個成分電離生成各種離子，然后檢測離子并確定質荷比，從而確定殘余氣體質量和種類。 主要功能：在高真空環(huán)境下進行殘余氣體分析，獲得殘余氣體的組分和含量，判斷真空腔室是否被污染。 科研用途：氣體微分析系統(tǒng)用于測量殘余氣體的組分和含量，判斷垂測系統(tǒng)真空室是否被污染， 請海關幫忙核定稅號
氣體微分析系統(tǒng)的hs編碼怎么歸類，回復如下
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